高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备研究

朱归胜 徐华蕊

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高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备研究

    通讯作者: 徐华蕊, huaruixu@gliet.edu.cn
  • 基金项目:

    国家863计划资助项目(2003AA32X140)

    广西自然基金资助项目(桂科能0542011)

  • 中图分类号:

    TN304.21

Study on the preparation of ITO ceramic target with high density

    Corresponding author: XU Hua-rui, huaruixu@gliet.edu.cn
  • CLC number:

    TN304.21

  • 摘要: 以水热合成的2种不同粒径(708)nm和(406)nm单分散ITO粉末为原料,对原料粉体粒径分布、冷等静压成型压力、烧结温度和时间等与靶材烧结密度之间的关系进行了研究.当2种粒径原料按7:3质量比混合均匀,成型压力为250MPa,成型坯体经1300℃预烧1.5h和在1400℃烧结1h后可以得到相对密度大于99%的高密度、高纯度ITO靶材.
  • [1] Kentaro Utsumi,Osamu Matsnaga.Low resisitivity ITO film prepared using the ultrahigh density ITO target[J].Thin solid Films.1998,334:30-34[4]NADAUD N,LEQUEUX N,NANOT M.Structural studies of tin-doped indium oxide (ITO) and In4Sn3O12[J].Journal of Solid State Chemistry.1998,135:140-148[5]XU Hua-rui,ZHOU Huai-ying,ZHU Gui-sheng,et al.Preparation of monodispersed tin-doped indium oxide nanopowders under moderate conditions[J].Materials Letters.2005,59:19-21[6]朱归胜,徐华蕊,廖春图.单分散纳米氧化铟锡粉末的水热合成[J].无机材料学报.2005,20(2):479-483[7]UDAWATTE C P,YANAGISAWA K.Sintering of additive freehydrothermally derived indium tin oxide powders in air[J].Journal of Solid State Chemistry.2000,154:444-450[8]NAM J G,H Choi Kim,Song,PARK S C.Synthesis and sintering properties of nanosized In2O3-10wt% SnO2 powders[J].Scripta Mater.2001,44:2047-2050[10]Bong-Chull Kim.Densification of nanocrystal line ITO powders in fast firing:effect of specimen mass and sintering atmosphere[J].Materials Research Bulletin.2005,40:395-404[11]THEUNISSEN G S A M,WINNUBST A J A,BURGGRAAF A J J.EuroSintering.Kinetics and microstructure development of nanoscale Y-TZP ceramics[J]..Ceram Soc.1993,11:315-324
  • [1] 牛耕赵伟霞刘俊标韩立马玉田 . 多靶材X射线显微镜在轻质样品成像中的应用. 云南大学学报(自然科学版), 2019, 41(5): 939-944. doi: 10.7540/j.ynu.20190077
    [2] 林洁张士煜吕琦赵洪彬李旋童亮马岚 . 58型人乳头瘤病毒E7蛋白单克隆抗体的制备及鉴定. 云南大学学报(自然科学版), 2012, 34(6): 731-737.
    [3] 赵光琴唐光阳贾丽娟周童任国庆常玉黄荣松刘天成 . 固体酸MoO3/ZrO2-TiO2的制备和催化性能的研究. 云南大学学报(自然科学版), 2018, 40(4): 755-759. doi: 10.7540/j.ynu.20170796
    [4] 姬秋彦毕研伟肖红剑闫玲梅高丹丹李智华 . 重组肠激酶催化亚基在毕氏酵母中的高密度发酵、纯化及活性鉴定. 云南大学学报(自然科学版), 2012, 34(S2): 426-431.
    [5] 杨爱明袁波付廷惠张希麟杨宇林理忠 . PVC片材脆断机制的探查及分析. 云南大学学报(自然科学版), 2003, 25(5): 419-422.
    [6] 王国伟施树春 . 铜纳米颗粒的制备与表征. 云南大学学报(自然科学版), 2008, 30(4): 388-391.
    [7] 李晚谊杨亚玲刘洪泉刘谋盛张尹 . 普洱茶泡腾片制备工艺研究. 云南大学学报(自然科学版), 2010, 32(1): 82-85 .
    [8] 袁青梅杨红卫张发广王兴郑保忠 . 生物农药微胶囊制备研究. 云南大学学报(自然科学版), 2005, 27(1): 57-59.
    [9] 郑柱坚彭宇朝 . 直流电测深在澜沧某铅矿预测找矿靶区的应用. 云南大学学报(自然科学版), 2012, 34(S2): 296-299.
    [10] 周菁付仁春隆泉郑保忠 . 阿维菌素微胶囊的制备工艺优化. 云南大学学报(自然科学版), 2003, 25(6): 511-514.
    [11] 李茂琼项金钟胡永茂方静华陈光学张桂琴吴兴惠 . 纳米SiO2的制备及性能研究. 云南大学学报(自然科学版), 2002, 24(6): 445-448.
    [12] 虞澜史聪花彭巨擘张捷 . 氧化铝纳米阵列模板的制备和研究. 云南大学学报(自然科学版), 2002, 24(3): 211-214.
    [13] 秦富景陈献华贾东晨 . L-赖氨酸碱溶液的制备研究. 云南大学学报(自然科学版), 2013, 35(S1): 113-117. doi: 10.7540/j.ynu.2013a21
    [14] 杨宁孙勇郭中正 . 铝铅均质合金膜的制备与研究. 云南大学学报(自然科学版), 2011, 33(1): 41-44 .
    [15] 田雪王川陈芳李予霞高剑峰 . 棉籽油制备生物柴油的研究及分析. 云南大学学报(自然科学版), 2009, 31(3): 295-299 .
    [16] 杨宁朱雪婷尹兆益吴大平孙勇 . 磁控溅射制备Cu-Ta合金膜的研究. 云南大学学报(自然科学版), 2013, 35(6): 791-796. doi: 10.7540/j.ynu.20120599
    [17] 李明李法社包桂蓉 . 离子液体催化制备生物柴油的试验研究. 云南大学学报(自然科学版), 2014, 36(1): 108-112. doi: 10.7540/j.ynu.20130477
    [18] 曹秋娥张凯楠李籽萱李娜白慧萍 . 钯离子印迹碳糊电极的制备及应用. 云南大学学报(自然科学版), 2018, 40(6): 1233-1239. doi: 10.7540/j.ynu.20180397
    [19] 任虹燕贺建昌张青冯恩富陈燕庞云丽徐贵丽 . 盐酸昂丹琼口腔崩解片的制备. 云南大学学报(自然科学版), 2009, 31(3): 291-294 .
    [20] 张绪瑛刘雯黄静李文娟孙昭吴自荣 . γ-聚谷氨酸锰的制备及其性质研究. 云南大学学报(自然科学版), 2009, 31(2): 204-207, .
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-01-12
  • 刊出日期:  2007-11-15

高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备研究

    通讯作者: 徐华蕊, huaruixu@gliet.edu.cn
  • 1. 桂林电子科技大学, 信息材料科学与工程系, 广西, 桂林, 541004
基金项目:  国家863计划资助项目(2003AA32X140)广西自然基金资助项目(桂科能0542011)

摘要: 以水热合成的2种不同粒径(708)nm和(406)nm单分散ITO粉末为原料,对原料粉体粒径分布、冷等静压成型压力、烧结温度和时间等与靶材烧结密度之间的关系进行了研究.当2种粒径原料按7:3质量比混合均匀,成型压力为250MPa,成型坯体经1300℃预烧1.5h和在1400℃烧结1h后可以得到相对密度大于99%的高密度、高纯度ITO靶材.

English Abstract

参考文献 (1)

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